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Il microscopio elettronico a scansione JSM-7200F con sorgente ad effetto di campo (Schottky) è lo strumento ideale per applicazioni analitiche e per l'alta risoluzione. Il JSM-7200F è un SEM_FEG versatile, equipaggiato con uno stage portacampioni di grandi dimensioni, 5-assi motorizzati, eucentrico a qualsiasi distanza di lavoro e con una precamera di caricamento che velocizza le procedure di sostituzione del campione e riduce i costi di manutenzione.
L'interfaccia grafica completamente rinnovata offre un'eccezionale semplicità di utilizzo. Quattro immagini live possono essere visualizzate simultaneamente con una singola scansione così da preservare il campione e velocizzare le tempistiche delle analisi.
Il SEM-FEG JSM-7200F offre la possibilità di integrare la microanalisi EDS JEOL così da poter offrire una soluzione perfettamente integrata, WDS, 3-View per la ricostruzione tridimensionale di campioni biologici, litografia elettronica, cathodoluminescenza, EBIC, Cryo etc.

Immagini in Ultra Alta Risoluzione.
La risoluzione di questo strumento è di 1,6nm ad 1kV di tensione di accelerazione.
La risoluzione è misurata come distanza tra due particelle posizionate a 1,6nm e ad una distanza di lavoro di 2mm. Non si tratta quindi di una risoluzione teorica ne di una risoluzione calcolata mediante software (entrambe senza validità internazionale). Questo nuovo strumento JEOL consente di ottenere immagini in alta risoluzione ad ultra bassa tensione: fino a 10 V! L'osservazione della superficie dei campioni a basse tensioni di accelerazione riduce la penetranza del fascio elettronico, l'effetto di carica su campioni non conduttivi e il deperimento dei campioni sensibili al fascio elettronico. Il rivelatore TTL situato nell'asse elettro-ottica, insieme al filtro in energia dentro la colonna ed il sistema di decellerazione del fascio elettronico (Gentle Beam Mode), ottimizza la risoluzione a bassa tensione permettendo l'osservazione di strutture superficiali complesse ad alti ingrandimenti.

 

Microanalisi ad alta risoluzione spaziale (brevetto JEOL)
Grazie alla sua polivalenza il JSM-7200F è sia un sistema per analisi in alta risoluzione, ma anche un SEM analitico. Il nuovo SEM-FEG JEOL consente di ottenere un'eccellente risoluzione spaziale in microanalisi: EDS, WDS, EBSD e Catodoluminescenza (CL). La lente integrata ed automatizzata ACL agisce come una lente di correzzione dell'aberrazione (brevetto JEOL). Ciò consente di generare un fascio elettronico dalle piccole dimensioni in un ampoi range di corrente (1pA-400nA) senza dover modificare aperture o diaframmi, evitando così la drastica perdita di risoluzione durante l'acquisizione delle immagini.

 

Modalità Pressione variabile fino a 300Pa

La polivalenza di questo strumento è testimoniata anche dalla possibilità di lavorare in modalità "Low Vacuum" (LV) per l'osservazione di campioni non conduttivi ad elevate tensioni di accelerazione o elevate correnti di fascio per una molteplicità di applicazioni analitiche (ad esempio EBSD in modalità Low Vacuum su campioni non conduttivi).
L'utilizzatore inoltre non dovrà mai intervenire manualmente nella camera del SEM per passare da una modalità all'altra in quanto il passaggio dall'alto vuoto alla modalità Low Vacuum è completamente automatizzata.