La nanosonda Auger JAMP-9500F è dotata di una eccellente risoluzione laterale. Questo strumento permette di determinare la distribuzione e la natura chimica degli elementi presenti negli strati più superficiali (qualche nanometro). Il fenomeno "Auger" è stato scoperto dallo scienziato francese P. Auger.
La microsonda (EPMA) disperde i fotoni X utilizzando un cristallo mobile montato su uno spettrometro. Le analisi qualitative e quantitative ottenibili con questo strumento forniscono informazioni sulla natura chimica dei materiali analizzati con una eccellente precisione (nell' ordine delle ppm).