Nano-sonda Auger

Analisi di Superficie (Auger, microsonde EPMA)

Nano-sonda Auger a emissione di campo,
Schottky In-Lens.

JAMP-9500F Nanosonda Auger a emissione di campo
JAMP-9500F Nanosonde Auger à émission de champJAMP-9500F Nanosonde Auger à émission de champ
Il JAMP-9500F è l'apparecchiatura di riferimento per le analisi chimiche di superficie. Le sue capacità di risoluzione spaziale ed energetica (0,05% in ΔE/E) sono ottenuti attraverso tre elementi essenziali: una colonna elettronica eccellente, un rivelatore emisferico HSA ed una sorgente ad ioni:

  La colonna elettronica : l' originalità di questa colonna risiede nell' accoppiamento della sorgente FEG In Lens (immersa nella 1a lente condensatrice) con un evoluto sistema condensatore.  Questa colonna permette di generare 200nA di corrente a 15kV mantenendo tuttavia un fascio elettronico estremamente piccolo.

 
Rivelatore emisferico HSA: questo spettrometro HSA con detector multicanale è stato sviluppato per raggiungere i limiti di risoluzione energetica, senza perdita di sensibilità.


  La sorgente a ioni
: permette di lavorare in 2 modalità. La modalità ablazione al fine di ottenere profili di profondità veloci e raccogliere analisi chimiche in 3D. La modalità neutralizzazione di carica per il trattamento di campioni non conduttivi.

 

  Il JAMP-9500F è un sistema che permette di accoppiare molteplici tecniche sullo stesso campione: EBSD / EDS / XPS / Auger.
Sorgente ad effetto di campo
Schottky In-Lens
Tensione d'accelerazione 0.5 a 30kV
Corrente massima 400nA
Rivelatore di corrente
Gabbia di Faraday in colonna
Sistema d'analisi
Analizzatore
Rivelatore

Emisferico
Multi-canale: 7
Vuoto 5 x 10-8 Pa
Movimentazione dello stage
X: -48mm a +10mm
Y: ± 10mm
Z: ± 6mm
T: 0 a 90°
R: 360° X, Y, Z, T, R motorizzati
Cannone ionico
Tensione d'accelerazione
Densità di corrente

0.01 a 4 kV
2µA a 3,000 eV, 0.03µA a 10 eV