SEM-FIB a doppia colonna

FIB e SEM-FIB a doppia colonna

Il cannone ionico è combinato con una sorgente LaB6 per il JIB-4501, o con una sorgente ad emissione di campo per il JIB-4601F.

JIB-4501 Microscopio Analitico a doppia colonna "MultiBeam" SEM-FIB
JIB-4501 Microscope Analytique à double colonneJIB-4501 Microscope Analytique à double colonne

Il nuovo sistema JIB 4501 combina : immagine SEM ad alta risoluzione e taglio dei campioni nell' ordine del decimo di  micron !!

 

Questa nuova macchina a doppia colonna sfrutta le alte prestazioni della sorgente LaB6 sviluppata da JEOL con una sorgente di ioni di nuova generazione per un taglio ed un monitoraggio in tempo reale.

 

Questa architettura ottimizza le prestazioni e aumenta la produttività poichè permette contemporaneamente l' osservazione del campione (immagine SEM), il suo taglio (immagine SIM) o l' analisi (EDS) per un' ampia varietà di applicazioni.

Polivalenza

  • Il funzionamento in modalità Pressione Variabile, permette l' osservazione di campioni non conduttivi senza necessità di specifiche deposizioni o rischi di danneggiamento.
  • Un sistema dalle elevate performance per l' iniezione dei diversi gas necessari per l' incisione e la deposizione.
  • Uno stage grande per poter ospitare campioni dalle grandi dimensioni (diametro 76mm).
  • Una camera ampia progettata con svariate porte per consentire l' inserimento dei diversi dispositivi analitici come EDS/ EBSD/Nano-manipolatori/etc

Ergonomia Innovativa

  • Il software S3 (Serial Slicing and Sampling) consente di seguire automaticamente le diverse fasi di taglio e campionamento. Il software di ricostruzione permette di visualizzare il campione ricostruito in 3D.

    L'elevata corrente erogata dal cannone ionico consente un taglio molto efficiente e veloce.
    Un sistema
    SAS viene fornito di serie per la sostituzione rapida dei campioni.

Stabilità

  • Il sistema grazie alla sua estrema stabilità permette di ottenere immagini perfette anche durante periodi di taglio e campionamento assai lunghi.
  • Possibilità di tagliare zone di grandi dimensioni grazie alla elevata corrente generata dal cannone ionico JEOL (Maxi 60nA).
  • Stage ad alta precisione, eucentrico e motorizzato su 5 assi.

Vedere anche:  Applications of Multibeam SEM/FIB Instrumentation in the Integrated Sciences, as seen in Microscopy Today, July, 2009.

Colonna FIB

 

Sorgente ionica
Ga liquid metal ion source
Risoluzione 5nm a 30kV
Tensione d'accelerazione 1 a 30kV (in steps)
Ingrandimenti 30x (for wide view)
100X a 300,000X
Massima corrente
60nA (a 30kV)

Colonna SEM

 

Sorgente LaB6
Risoluzione 2.5nm a 30kV
Tensione d'accelerazione 0.3 a 30kV (in steps)
Ingrandimenti 5X a 300,000X
Massima corrente
1,000nA (a 30kV)
Movimentazione dello stage
X: 76mm
Y: 76mm
Z: 5 a 48mm
Z' for eucentric point adjustment
T: -10° a 90°; R: 360° endless
Sistema di vuoto
SIP (x2), TMP/RP (x2)
Caratteristiche essenziali
Pressione Variabile (LV)
Rivelatore per elettroni retrodiffusi (BEI)
Sistema di Gas injection (1)