SEM FEG

Microscopi Elettronici a Scansione (SEM)

JEOL propone un' ampia gamma di SEM con
una sorgente ad emissione di campo (FEG),
per rispondere sempre al meglio ai vostri bisogni.

JSM-7200F Microscopio Elettronico a Scansione FEG HV/LV

Il Microscopio Elettronico a Scansione, JSM-7200F, con sorgente ad emissione di campo (Schottky) è la piattaforma ideale per applicazioni analitiche e per l'alta risoluzione. Il JSM-7200F è uno strumento multifunzione dotato di uno stage di grandi dimensioni, 5 assi motorizzati, eucentrico ed equipaggiato con un sistema di introduzione del campione semi-automatico per ridurre i costi di mantenimento.

L'interfaccia grafica completamente rinnovata offre un'eccezionale facilità di utilizzo. Quattro immagini live possono essere visualizzate contemporaneamente sullo schermo, incluso l'immagine derivante dalla miscela dei diversi segnali. Tutte le immagini possono essere acquisite e registrate simultaneamente con una singola scansione permettendo così anche l'analisi di campioni sensibili al fascio elettronico.

Il FEG-SEM JSM-7200F può integrare i sistemi EDS, WDS, 3-View, litografia elettronica, tomografia X, catodoluminescenza, EBIC, Cryo, etc.

Immagini in Ultra-Alta Risoluzione.

La risoluzione del JSM-7200F è di 1,6nm a 1keV. La professionalità, serietà e la qualità dei nostri strumenti è dimostrata dal fatto che, diversamente da altre case produttrici, JEOL esprime la risoluzione come distranza minima affinchè due particelle distinte vengano identificate come tali e non come una sola. JEOL pertanto non si avvale di software per il calcolo teorico della risoluzione che non ha valenza internazionale. Questo nuovo SEM-FEG consente di ottenere immagini in alta risoluzione a basse tensioni di accelerazione: solamente 10V! Il rivelatore TTL situato lungo l'asse ottica insieme al filtro in energia nella colonna e la decellerazionio del fascio (Gentle Beam Mode), migliorano drasticamente la risoluzione a bassa tensione, consentendo l'osservaziione di strutture fini anche ad ingrandimenti molto elevati.

Microanalisi ad Alta Risoluzione Spaziale (brevetto JEOL)

Progettato per avere una grande versatilità, il JSM-7200F è un eccezionale SEM analitico che permette di ottenere un'eccellente risoluzione spaziale durante le microanalisi EDS, WDS, EBSD, e Catodo-Luminescenza (CL). La lente integrata ed automatizzata ACL agisce come una lente di correzione d'aberrazione (Brevet JEOL) che consente di generare un fascio elettronico dal diametro estremamente piccolo in un range di corrente molto ampio (1pA-400nA) senza necessità di modificare diaframmi o aperture con conseguente perdita di risoluzione. Un rivelatore opzionale , retrattile STEM permette di registrare immagini di campioni fini, trasparenti agli elettroni con una risoluzione migliore di 0,8nm, e consente simultaneamente l'analisi X EDS.


Modalità Low Vacuum fino a 300Pa
                                                                                                                                  

La versatilità di questo SEM è dimostrata dalla possibilità di lavorare in modalità “low vacuum” (LV) per l'osservazione di campioni non conduttivi ad elevate tensioni di accelerazione o ad elevate correnti di fascio necessarie per particolari condizioni analitiche (per esempio EBSD). L'utente non dovrà mai intervenire manualmente all'interno della camera per passare da una modalità operativa all'altra: il passaggio dalla modalità alto vuoto a quella basso vuoto è completamente automatizzato.


 


 


 


Risoluzione

1.0 nm (a 15 kV)
1.6 nm (a 1 kV)
0,8 nm (30 kV) in modalità STEM

le risoluzioni sono calcolate come minima separazione identificabile sull'immagine tra due particelle di oro distinte e non mediante calcolo software o per "edge criteria"
Tensione d’accelerazione da 10V a 30 kV
Intensità di Corrente
da 1 pA ad 400nA in continuo
Stage Eucentrico meccanicamente a tutte le distanze di lavoro
5 assi motorizzate

Ingrandimenti

da 10X a 1,000,000X

Gentle Beam
Modalità integrata di decellerazione del fascio elettronico
Pre-camera Standard, per garantire un vuoto stabile e pulito. Sistema di caricamento assistito.
Rivelatori

SED (immagini da elettroni secondari)
SRBED (immagine da elettroni retrodiffusi)
UED - Option - rivelatore In-Lens con filtro di energia (SE e BSE)
Funzioni automatizzate
AFD (Auto Focus)
ACB (Auto Contrast and Brightness)
ASD (Auto Astigmatisme)
AFD ACB
Consumi Energetici
Consumo in utilizzo standard: 1,2 kVA
Standby: 1 kVA