Strumenti per Semiconduttori

Jeol è presente nell' industria dei semi-conduttori da più di 40 anni, con strumenti sia a fascio
elettronico che a fascio ionico progettati per la scrittura e l'analisi accurata delle maschere.

GAMMA STRUMENTI JEOL

Litografia con fascio elettronico
Lithographie par faisceau d’électrons

Ampia gamma di strumenti e-beam,
per la scrittura litografica su maschere,
sia per grossi volumi di produzione
che per la ricerca e lo sviluppo.

Ispezione di wafer per SEM
Inspection de Wafer par MEB

Strumenti di ispezione di maschere per
migliorare la gestione delle prestazioni e
per rilevare rapidamente imperfezioni e

difetti.

Ispezione di processi di precisione
Inspection de procédés de précision

Per eseguire i test di qualità richiesti per
la produzione di maschere ad alte performance,
JEOL propone i CD-SEM Holon, modelli
EMU-220 e EMU-330.

JEOL serve l' industria dei semi-conduttori da oltre 40 anni, con strumenti di ottica elettronica e a fascio ionico, progettati per evere la massima precisione nella modellazione e nell' ispezione. La nostra ultima generazione di macchine offre funzioni avanzate che consentono di utilizzare i metodi di domani - incisione a 22 nm.


Le strumentazioni JEOL per semi-conduttori rispondono alle esigenze di impianti di produzione, sempre più sofisticati, e di laboratori di ricerca. Queste soluzioni di punta sono sostenute da un supporto tecnico 24/7 e da un impegno a lungo termine con i nostri clienti.